コアピッチ測定機
Core measurement machine specification
（OSPM－０９）
|
|
Ⅰ.概要
本品は，ファイバアレイ，Ｖ溝基板，ＭＴコネクタ用に設計製作された測定機で，高精度ＣＣＤカメラにより端面画像を取り込み画像処理することにより，ピッチ分だけ送った微動台の送り量との差を計算してコアピッチを測定する装置です。
当社開発の光干渉型測長ユニットを搭載することにより，最小にて0.01μmを表示して0.08μm精度〔A仕様〕を確保しております。（0.15μm精度〔B仕様もあり〕）
この精度を実現するために，ステージ・構造部材およびすべての精度部材をインバーにて構成しております。 |
|
Ⅱ．各部構成
|
① ｘｙステージ
|
高精度ボールネジ及び高精度スライドレールを使用して最高スピードは３０ｋＨｚで動作するため０．６ｍｍ／ｓｅｃにて動作します。
|
ｘ軸 ストローク
分解能
|
±１０ｍｍ
０．０１μｍ
|
|
ｙ軸 ストローク
|
±１０ｍｍ（手動カメラ軸）
|
ｚ軸 ストローク
分解能 |
±１０ｍｍ
０．０２μｍ |
|
② 資料ホルダ
③ 画像処理部
|
高精度４０万画素ＣＣＤカメラを使用して位置検出を行います。認識速度は８芯で ８秒表示まで含めて１２秒です。認識時間は平均化処理するため，取込み回数を増やせば長くなります。
オプションで１５０万画素ＣＣＤカメラを使用して位置検出精度を上げることが可能です。
|
認識速度
|
０．３～０．５ｓｅｃ
|
|
機 能
|
パターンマッチング機能
特徴抽出
重心位置
オートフォーカス
|
|
④ 高解像度スコープ
|
オプションで全体の外観を見るときには別の倍率のレンズを取付けることができます。
|
鏡 筒
|
単眼用
|
|
対物レンズ
|
×５
|
|
ＣＣＤカメラ
|
４０万画素，白黒
|
|
ホルダ
|
ｙ手動
|
|
⑤ 測長ユニット
|
当社開発の光干渉型測長ユニット（OSIM-01-A または OSIM-01-B）を登載。
|
⑥ 照明
⑦ モーターコントローラ
|
モーターコントローラは，制御軸は２軸，最大周波数は３０ｋＨｚです。
|
⑧ 端面用モニタ
⑨ 除振台 （オプション）
|
テーブルトップタイプ（エアプンプ付）
|
|
除振性能
|
５Ｈｚ以上
|
|
⑩ パソコン
|
ＯＳ
|
Ｗｉｎｄｏｗｓ ＸＰ Ｈｏｍｅ Ｅｄｉｔｉｏｎ
|
|
ＣＰＵ
|
Intel Celeron 2.53GHz
|
| ＨＤＤ |
40 GB |
| メモリ |
256 MB |
| その他装備 |
CD-ROM,3.5inchFDD,Ehternet 100Base-TX |
|
⑪ パソコン用ディスプレイ
⑫ ソフトウェア
|
データ表示可能芯数
|
８芯（オプションで増設可能）
|
|
測定タクト
|
１２秒（８芯平均化処理なしの場合）
|
| データ構成 |
理論座標、各軸の誤差、各コアのピッチ |
| データ形式 |
ＣＳＶ形式（ＥＸＣＥＬ対応） |
| データ格納容量 |
８芯データで約１億個（４０ＧＢのＨＤＤの場合） |
| 機能 |
データ角度補正 |
| オプション |
ゴミ取りソフト |
|
Ⅲ．オプション
| ａ） ホルダ及び照明 |
ＭＴ用，Ｖ溝用，ファイバアレイ用があります |
| ｂ） １５０万画素ＣＣＤカメラ |
画像認識精度が倍、良くなります |
| ｃ） 除震台 |
卓上タイプまたはオートレベラー付（鋳鉄定板使用） |
| ｄ） 対物レンズ |
×２０，×５０，×１００ |
| ｅ ）オプション鏡筒 |
倍率切替型鏡筒 |
| ｆ） 斜め用ホルダ |
斜め用のファイバアレイホルダ |
| ｇ） ラック |
棚板３枚付き |
| ｈ） 恒温ブース |
卓上型恒温ブース（ＯＳＰＢ－０１） |
| ｉ） ソフトウェア追加機能 |
ゴミ取りソフト |
| j） マイクロスコープ |
1000万画素CCD（20倍対物レンズ付き） |
|
|
|
|
DATE SANPLE
 |
| No. |
理想値 |
⊿X |
⊿Y |
ピッチ |
| 1 |
0 |
0 |
0 |
- |
| 2 |
250 |
-0.36 |
-0.22 |
249.64 |
| 3 |
500 |
-0.25 |
-0.06 |
250.11 |
| 4 |
750 |
-0.55 |
-0.18 |
249.7 |
| 5 |
1000 |
-0.31 |
-0.1 |
250.24 |
| 6 |
1250 |
-0.76 |
-0.07 |
249.55 |
| 7 |
1500 |
-0.67 |
-0.02 |
250.09 |
| 8 |
1750 |
-0.38 |
-0.17 |
250.29 |
| 9 |
2000 |
-0.29 |
-0.13 |
250.09 |
| 10 |
2250 |
-0.51 |
-0.36 |
249.78 |
| 11 |
2500 |
-0.25 |
-0.08 |
250.26 |
| 12 |
2750 |
-0.65 |
-0.29 |
249.6 |
| 13 |
3000 |
-0.35 |
-0.01 |
250.3 |
| 14 |
3300 |
-0.71 |
-0.26 |
249.64 |
| 15 |
3500 |
-0.45 |
-0.21 |
250.26 |
| 16 |
3750 |
-0.73 |
-0.28 |
249.72 |
| 17 |
4000 |
-0.6 |
-0.04 |
250.13 |
| 18 |
4250 |
-0.71 |
-0.17 |
249.89 |
| 19 |
4500 |
-0.41 |
-0.07 |
250.3 |
| 20 |
4750 |
-0.62 |
-0.35 |
249.79 |
| 21 |
5000 |
-0.36 |
-0.13 |
250.26 |
| 22 |
5250 |
-0.65 |
-0.14 |
249.71 |
| 23 |
5500 |
-0.57 |
-0.03 |
250.08 |
| 24 |
5750 |
-0.65 |
-0.07 |
249.92 |
| 25 |
6000 |
-0.57 |
-0.16 |
250.08 |
| 26 |
6250 |
-0.54 |
-0.02 |
250.03 |
| 27 |
6500 |
-0.57 |
-0.03 |
249.97 |
| 28 |
6750 |
-0.69 |
-0.01 |
249.88 |
| 29 |
7000 |
-0.55 |
-0.09 |
250.14 |
| 30 |
7250 |
-0.38 |
-0.08 |
250.17 |
| 31 |
7500 |
-0.58 |
0.11 |
249.8 |
| 32 |
7750 |
-0.65 |
0 |
249.93 |
| 33 |
8000 |
-0.52 |
-0.15 |
250.13 |
| 34 |
8250 |
-0.61 |
-0.11 |
249.91 |
| 35 |
8500 |
-0.64 |
-0.03 |
249.97 |
| 36 |
8750 |
-0.71 |
-0.16 |
249.93 |
| 37 |
9000 |
-0.85 |
0.03 |
249.86 |
| 38 |
9250 |
-0.69 |
-0.08 |
250.16 |
| 39 |
9500 |
-0.62 |
-0.09 |
250.07 |
| 40 |
9750 |
-0.83 |
-0.11 |
249.79 |
| 41 |
10000 |
-0.96 |
0.09 |
249.87 |
| 42 |
10250 |
-0.95 |
-0.07 |
250.01 |
| 43 |
10500 |
-0.89 |
-0.02 |
250.06 |
| 44 |
10750 |
-0.88 |
-0.18 |
250.01 |
| 45 |
11000 |
-0.74 |
0.03 |
250.14 |
| 46 |
11250 |
-0.8 |
-0.07 |
249.94 |
| 47 |
11500 |
-0.74 |
-0.04 |
250.06 |
| 48 |
11750 |
-1 |
0 |
249.74 |
|
《V溝基板》 |
《導波路基板》 |
|
|
|
