コアピッチ測定機

Core measurement machine specification
(OSPM−09)


T.概要

本品は,ファイバアレイ,V溝基板,MTコネクタ用に設計製作された測定機で,高精度CCDカメラにより端面画像を取り込み画像処理することにより,ピッチ分だけ送った微動台の送り量との差を計算してコアピッチを測定する装置です。
当社開発の光干渉型測長ユニットを搭載することにより,最小にて0.01μmを表示して0.08μm精度〔A仕様〕を確保しております。(0.15μm精度〔B仕様もあり〕)
この精度を実現するために,ステージ・構造部材およびすべての精度部材をインバーにて構成しております。

U.各部構成


@ xyステージ

高精度ボールネジ及び高精度スライドレールを使用して最高スピードは30kHzで動作するため0.6mm/secにて動作します。

x軸 ストローク
   分解能

±10mm
0.01μm

y軸 ストローク

±10mm(手動カメラ軸)

z軸 ストローク
   分解能
±10mm
0.02μm

A 資料ホルダ

   

エアチャック

B 画像処理部

高精度40万画素CCDカメラを使用して位置検出を行います。認識速度は8芯で 8秒表示まで含めて12秒です。認識時間は平均化処理するため,取込み回数を増やせば長くなります。
オプションで150万画素CCDカメラを使用して位置検出精度を上げることが可能です。

認識速度

0.3〜0.5sec

機  能

パターンマッチング機能
特徴抽出
重心位置
オートフォーカス

C 高解像度スコープ

オプションで全体の外観を見るときには別の倍率のレンズを取付けることができます。

              

鏡 筒

単眼用

対物レンズ

×5

CCDカメラ

40万画素,白黒

ホルダ

y手動

D 測長ユニット

当社開発の光干渉型測長ユニット(OSIM-01-A または OSIM-01-B)を登載。

分解能

0.005μ

E 照明

マスタ用照明を標準装備

F モーターコントローラ

モーターコントローラは,制御軸は2軸,最大周波数は30kHzです。

制御軸

2軸

最大周波数

30kHz

G 端面用モニタ

サイズ

9インチ白黒

H 除振台 (オプション)

テーブルトップタイプ(エアプンプ付)

除振性能

5Hz以上

I パソコン

OS

Windows XP Home Edition

CPU

Intel Celeron 2.53GHz

HDD 40 GB
メモリ 256 MB
その他装備 CD-ROM,3.5inchFDD,Ehternet 100Base-TX

J パソコン用ディスプレイ

15inch液晶ディスプレイ

K ソフトウェア

データ表示可能芯数

8芯(オプションで増設可能)

測定タクト

12秒(8芯平均化処理なしの場合)

データ構成 理論座標、各軸の誤差、各コアのピッチ
データ形式 CSV形式(EXCEL対応)
データ格納容量 8芯データで約1億個(40GBのHDDの場合)
機能 データ角度補正
オプション ゴミ取りソフト

V.オプション

a) ホルダ及び照明 MT用,V溝用,ファイバアレイ用があります
b) 150万画素CCDカメラ 画像認識精度が倍、良くなります
c) 除震台 卓上タイプまたはオートレベラー付(鋳鉄定板使用)
d) 対物レンズ ×20,×50,×100
e )オプション鏡筒 倍率切替型鏡筒
f) 斜め用ホルダ 斜め用のファイバアレイホルダ
g) ラック  棚板3枚付き
h) 恒温ブース 卓上型恒温ブース(OSPB−01)
i) ソフトウェア追加機能 ゴミ取りソフト
j) マイクロスコープ 1000万画素CCD(20倍対物レンズ付き)
         
《 重心処理のみ 》 《 ゴミ取り処理後 》

DATE SANPLE
No. 理想値 ピッチ
1 0 0 0 -
2 250 -0.36 -0.22 249.64
3 500 -0.25 -0.06 250.11
4 750 -0.55 -0.18 249.7
5 1000 -0.31 -0.1 250.24
6 1250 -0.76 -0.07 249.55
7 1500 -0.67 -0.02 250.09
8 1750 -0.38 -0.17 250.29
9 2000 -0.29 -0.13 250.09
10 2250 -0.51 -0.36 249.78
11 2500 -0.25 -0.08 250.26
12 2750 -0.65 -0.29 249.6
13 3000 -0.35 -0.01 250.3
14 3250 -0.71 -0.26 249.64
15 3500 -0.45 -0.21 250.26
16 3750 -0.73 -0.28 249.72
17 4000 -0.6 -0.04 250.13
18 4250 -0.71 -0.17 249.89
19 4500 -0.41 -0.07 250.3
20 4750 -0.62 -0.35 249.79
21 5000 -0.36 -0.13 250.26
22 5250 -0.65 -0.14 249.71
23 5500 -0.57 -0.03 250.08
24 5750 -0.65 -0.07 249.92
25 6000 -0.57 -0.16 250.08
26 6250 -0.54 -0.02 250.03
27 6500 -0.57 -0.03 249.97
28 6750 -0.69 -0.01 249.88
29 7000 -0.55 -0.09 250.14
30 7250 -0.38 -0.08 250.17
31 7500 -0.58 0.11 249.8
32 7750 -0.65 0 249.93
33 8000 -0.52 -0.15 250.13
34 8250 -0.61 -0.11 249.91
35 8500 -0.64 -0.03 249.97
36 8750 -0.71 -0.16 249.93
37 9000 -0.85 0.03 249.86
38 9250 -0.69 -0.08 250.16
39 9500 -0.62 -0.09 250.07
40 9750 -0.83 -0.11 249.79
41 10000 -0.96 0.09 249.87
42 10250 -0.95 -0.07 250.01
43 10500 -0.89 -0.02 250.06
44 10750 -0.88 -0.18 250.01
45 11000 -0.74 0.03 250.14
46 11250 -0.8 -0.07 249.94
47 11500 -0.74 -0.04 250.06
48 11750 -1 0 249.74




《V溝基板》

《導波路基板》








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