多軸自動調整装置

Six Axes Micro Robot





■特徴

構成軸は、基本直線3軸(X,Y,Z)にオプション角度3軸(θ,φ,γ)を組み合わせることができます。


■仕様例

≪概  要≫

本品は,当社のDCサーボステージAS−301を組み合せて,WGとファイバアレイを組み立てるために専用設計されたシステムで,高速パワーメータ,自動端面検出装置,自動角度調整装置により容易に位置合せができます。
また,UVディスペンサを備えているために,接着剤を自動供給することが可能です。

≪各部構成≫

1.導波路ホルダ

ネジクランプ方式により,クランプします。
標準は,直角研磨用クランプですが,オプションでナナメ研磨用クランプに交換できます。

固定方法

ネジクランプ式

2.調芯軸

各軸にDCサーボモータを使用したクローズループで制御しており,xyzθφγの重量ステージでも,パルスモータステージのようにモータがスリップするようなことはありません。

ストローク

xy軸  ±10mm
z軸   ±30mm
θφγ  ±3゜

分解能

xyz  0.0625
μθφγ 10−5゜

3.UV光源

UV光源は,自動起立式の2分岐ファイバ出力になっており,セッティングが容易です。

出  力

200W

ファイバ

2分岐

4.パワーメータ

パワーメータは当社独自のもので,−70dBMまでの高感度で読み取れ,取込みスピードは30kHzの高速で,感度は自動ゲイン切替のものを使用しております。
オプションにて,アジレントテクノロジーのアナログ外部出力端子より当社の高速AD変換に直接取込むことも可能です。

5.アレイホルダ

アレイホルダは,ネジクランプ方式で,標準は直角研磨用ですが,オプションでナナメ研磨用に交換可能す。

6.観察用スコープ

画像処理用の観察用スコープは,4倍超小型12φCCDカメラ2台にて,WG,ファイバアレイ両方の端面を観察します。

総合倍率

100倍

CCD

1/3白黒40万画素

7.スコープ用ホルダ

各スコープの微調用に,手動小型xyzステージがついております。

手動ステージ

xyz ±3mm

8.スコープ用大移動軸

スコープは,左右観察用に手動にて簡単にプリセットした位置に移動することが可能です。

x  軸

±30

y  軸

±30

9.UVディスペンサ軸

UVディスペンサは,微動摘出用のテフロン(UVカット)ニードルを使用しており,WGやファイバアレイに傷をつけることはありません。

分解能

xyz ±1μ
θ   ±0.1゜

ストローク

xyz ±25
θ   ±90゜

10.制御用PCおよびボード

制御用PCは,クロック500MHz以上のスピードで動作し,MCBボード,キャプチャーボード,I/Oボード等,組込まれております。

クロック

500MHz

バ  ス

PCI

11.ラック

すべての電気機器やモータ類は,ラックにおさめられております。

高さ

1800mm

 550mm

12.コントローラ

コントローラは,最大24軸まで拡張することが可能で,オプションで電磁リレーも制御することが可能なので,各種スイッチをコントロールすることが可能です。
また,すべてGPIBにてコントロールすることが可能なので,メインソフトをラボヴューやHPVEE等の専用測定ソフトでかくことが可能です。

制御軸の数

16軸

13. 除震台

除振台は,小型ながら定板は鋳鉄製を使用して,質量をかせいで,除震性能を向上させております。

必要空気圧

4kg/cm2

レベル出し

オートレベラー

除振性能

8Hz以上各部構成




グラフィック・モード出力図
 ●光強度分布立体図(光強度を高さで示している)




多軸自動調整装置の利用方法

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